対応装置情報

装置対応

塗布~プリベーク装置

コーターカップユニットとホットプレートユニットを持つ高粘度樹脂対応、高排気タイプの一般的なコーターを推奨します。
主要なコーターデベロッパーメーカでは液状ポリイミド用のラインアップがございます。

露光装置

感光性製品については、一般的なi線ステッパー及びブロードバンドアライナを推奨します。

現像装置

パドル現像が可能な一般的なデベロッパーを推奨します。
主要なコーターデベロッパーメーカでは現像タイプによりラインアップがございます。

硬化装置

拡散炉、イナートガスオーブン等N2雰囲気を保ちO2濃度がコントロールできる硬化炉を推奨します。
非感光製品についてはAir雰囲気のクリーンオーブンでも硬化できます。